第230章 鸡蛋清引发的良品率问题（1 / 2）

周博和姜明尚站在无尘车间的观察窗前，注视一块高纯度硅锭被送入切割台上

硅片厂生产线还没有投产，眼前的硅锭是从沪江运送过来，用于试生产的，

随着巨大的金刚石切割刀缓缓落下，硅锭被切成一片片薄如蝉翼的晶圆

这些晶圆将被送往下一个车间，进行打磨和抛光

接下来就是光刻工序，也是整个制造过程中最核心的环节

姜明尚皱眉道：“前几道工序都没问题，但光刻车间的良品率始终上不去

我研究了几天，始终没找到问题所在”

周博笑道：“万事开头难，gk-1是第一台光刻机，有问题很正常，没问题才奇怪”

两人一边说着，一边来到光刻车间

车间中央横置着一台庞然大物——gk-1干式光刻机，几名技术人员正围在操作台前

“怎么回事，又是图案粘连！”一名技术人员苦恼道

“会不会是光刻胶有问题？”

“不应该，都是一样的调配流程，在沪江好用，到了粤州就出问题？

没道理呀！”

“是呀，真特么见鬼了！”

“原来的流水线不是挺好吗，一做成整机就出问题，自找麻烦！”有人抱怨道

“整机在沪江测试过，也没问题呀！”

“到底怎么回事呢？”

众人议论纷纷，看到周博和姜明尚走过来，立刻向二人打招呼

“周总工，姜总工！”

都是电子厂的老人，还是习惯用以前的称呼

姜明尚问道：“怎么样，这次良品率多少？”

“10片芯片，只有1片能用，其他全部出现图案粘连现象！”

10%！

这良品率实在有点可怜

周博也皱起眉头

光刻机在沪江时测试过的，怎么到了粤州就水土不服？

“给我看看！”

一名技术员将一块刚下线的芯片递了过来

周博来到显微镜前，将芯片放在物境前固定好，看了起来

镜头中，本该清晰的晶体管线条像被水晕开的墨迹，模糊成团

这就是所谓图案粘连

看完之后，周博没有说话，走到了光刻机的操作台前

暗暗在脑海中发出指令

“分析gk-1光刻机···”

【叮！】

【系统分析开始···】

【光刻机型号：gk-1】

【分析结果如下：】

【1.光源系统正常

2.对准与调焦系统正常

3.双工件台系统正常

4.掩模输运与定位系统正常···】

系统分析完毕，光刻机一切正常

周博叹了一口气，心中也犯了难，问题出在什么地方呢？

系统也不是万能的，现在要靠自己定位问题了

“大家有什么看法！”周博先询问众人的意见

姜明尚道：“每次都出现图案粘连，我还是怀疑光刻胶有问题

但是又查不出来！”

周博点点头

现在他们所用的光刻胶，是从鸡蛋清里提取出来的，调配过程是周博经过多次实验确定下来的

一年多来，在电子厂车间产线上使用，从来没出过问题

之所以用鸡蛋清，多少有点无奈，光刻胶这东西虽然不起眼，但技术含量可不低